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国家自然科学基金(10175048)

作品数：18 被引量：82H指数：7
相关作者：宁兆元程珊华叶超辛煜江美福更多>>
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领域

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主题

  • 14个非晶
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  • 11个光学
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  • 10个光学带隙
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  • 7个热稳定性
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  • 5个电子能谱
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机构

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资助

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  • 6个江苏省高校省...
  • 5个江苏省高校省...
  • 5个江苏省重点实...
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传媒

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地区

  • 15个江苏省
  • 1个上海市
  • 1个广东省
共 17 条 记 录，以下是 1-10
宁兆元
供职机构：苏州大学
研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程珊华
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：氟化非晶碳薄膜 等离子体 F ITO膜 A-C
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶超
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
辛煜
供职机构：苏州大学
研究主题：感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江美福
供职机构：苏州大学
研究主题：氟化类金刚石薄膜 反应磁控溅射 磁控溅射 拉曼光谱 光学带隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许圣华
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：高温热管 氟化非晶碳薄膜 ECR-CVD SIO 余热回收
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄松
供职机构：苏州大学
研究主题：感应耦合等离子体 CF A-C F ECR-CVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄峰
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）物理学系
研究主题：超大规模集成电路 真空退火 光学带隙 A-C:F 微波功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜伟
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）物理学系
研究主题：氟化非晶碳薄膜 发射光谱 CHF ECR 薄膜沉积技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆新华
供职机构：苏州大学材料与化学化工学部
研究主题：ECR-CVD A-C F 傅里叶变换红外光谱 红外吸收光谱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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