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国家自然科学基金(60578051)

作品数：25 被引量：148H指数：7
相关作者：王向朝杨坤步扬刘英明郑德锋更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院研究生院上海恒益光学精密机械有限公司更多>>
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相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

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地区

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共 17 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：移相 衍射 信号处理系统 聚焦透镜 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘英明
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 激振 光源 准直器 光纤耦合器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑德锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：角位移 反光镜 光束 信号放大器 模数转换器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大气湍流 大气光学 单色 时间相干性 空间相干性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何国田
供职机构：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题：磁流变液 测量范围 表面形貌 正弦相位调制 分束器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李中梁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：正弦相位调制 偏振 医用光学 斯托克斯参量 干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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