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国家自然科学基金(10375058)

作品数：2 被引量：17H指数：2
相关作者：田扬超王俊郭育华阚娅朱学林更多>>
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
田扬超
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阚娅
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭育华
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：脱模 有限元方法 LIGA PMMA 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘刚
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：LIGA技术 光刻 波带片 X射线 LIGA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王俊
供职机构：中国社会科学院考古研究所
研究主题：光刻 脱模 有限元方法 城墙 PMMA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱学林
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：PMMA 键合强度 脱模 有限元方法 微流控芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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