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国家自然科学基金(10375058)
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田扬超
王俊
郭育华
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朱学林
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田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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阚娅
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
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郭育华
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:脱模 有限元方法 LIGA PMMA 光刻
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刘刚
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:LIGA技术 光刻 波带片 X射线 LIGA
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王俊
供职机构:中国社会科学院考古研究所
研究主题:光刻 脱模 有限元方法 城墙 PMMA
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朱学林
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:PMMA 键合强度 脱模 有限元方法 微流控芯片
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