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教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-05-0869)

作品数：7 被引量：24H指数：4
相关作者：虞益挺苑伟政乔大勇梁庆李晓莹更多>>
相关机构：西北工业大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”西安应用材料创新基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程理学更多>>

领域

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主题

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  • 2个氮化硅
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机构

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资助

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传媒

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  • 2个科学通报
  • 2个感光科学与光...
  • 2个计量学报

地区

  • 6个陕西省
共 6 条 记 录，以下是 1-6
苑伟政
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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虞益挺
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乔大勇
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁庆
供职机构：西北工业大学
研究主题：牺牲层 微机电系统 残余应力 刻蚀速率 自激
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李晓莹
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王兰兰
供职机构：西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室
研究主题：微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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