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山东省自然科学基金(Y2001F10)

作品数：5 被引量：16H指数：3
相关作者：石玉龙毕京锋付强丁发柱更多>>
相关机构：青岛科技大学更多>>
发文基金：山东省自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程一般工业技术理学更多>>

领域

  • 4个一般工业技术
  • 3个化学工程
  • 3个电子电信
  • 3个理学
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个医药卫生

主题

  • 4个热丝
  • 4个热丝化学气相...
  • 4个金刚石薄膜
  • 4个金刚石膜
  • 4个化学气相
  • 4个化学气相沉积
  • 4个复合膜
  • 3个等离子
  • 3个等离子体
  • 3个等离子体辅助
  • 3个生长速率
  • 3个气相沉积
  • 3个金刚石
  • 3个刚石
  • 3个表面形貌
  • 2个等离子体化学...
  • 2个新型装置
  • 2个碳源
  • 2个不同碳源
  • 1个氮化

机构

  • 4个青岛科技大学
  • 1个青岛化工学院
  • 1个中国科学院

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 4个山东省自然科...
  • 1个山东省教育厅...
  • 1个青岛市科技局...
  • 1个上海市教育委...

传媒

  • 4个青岛科技大学...
  • 3个功能材料
  • 2个金刚石与磨料...
  • 1个Journa...
  • 1个新技术新工艺
  • 1个中华口腔医学...
  • 1个金属热处理
  • 1个材料保护
  • 1个无机材料学报
  • 1个电镀与涂饰
  • 1个实用口腔医学...
  • 1个生物医学工程...
  • 1个表面技术
  • 1个真空
  • 1个中国口腔种植...
  • 1个真空科学与技...
  • 1个青岛化工学院...
  • 1个电机电器技术
  • 1个微细加工技术
  • 1个真空电子技术

地区

  • 3个山东省
  • 1个北京市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
石玉龙
供职机构：青岛科技大学材料科学与工程学院
研究主题：微弧氧化 钛 等离子体 化学气相沉积 PCVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毕京锋
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：金刚石膜 分子束外延生长 热丝化学气相沉积 等离子体辅助 半金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付强
供职机构：青岛科技大学材料与环境科学学院
研究主题：金刚石膜 热丝化学气相沉积 化学气相沉积 复合膜 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁发柱
供职机构：青岛科技大学材料科学与工程学院
研究主题：热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 复合膜 金刚石膜 不同碳源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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