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中国科学院科研装备研制项目(28Y3YZ018001)

作品数：3 被引量：9H指数：1
相关作者：李国光刘涛谌雅琴宋国志王建东更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所电子科技大学合肥工业大学更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

领域

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  • 11个理学
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主题

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  • 6个最小二乘
  • 6个最小二乘法
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  • 4个形貌
  • 4个校准方法
  • 3个等离子体增强
  • 3个电极
  • 3个信号
  • 3个仪器
  • 3个起偏器

机构

  • 8个中国科学院微...
  • 2个合肥工业大学
  • 2个电子科技大学
  • 2个北京工业大学
  • 2个北京智朗芯光...
  • 1个北京科技大学
  • 1个天津大学
  • 1个浙江大学
  • 1个嘉兴科民电子...
  • 1个中国科学院嘉...

资助

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  • 8个国家科技重大...
  • 7个国家自然科学...
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传媒

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  • 2个光电子．激光
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  • 2个电子显微学报
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  • 2个半导体光电
  • 2个微纳电子技术
  • 2个传感器与微系...

地区

  • 9个北京市
  • 1个安徽省
  • 1个四川省
共 11 条 记 录，以下是 1-10
李国光
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：最小二乘法 光学常数 校准 校准方法 校准法
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刘涛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 近场光学 白光干涉 激光干涉 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谌雅琴
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：倏逝波 病毒检测 盖玻片 焦平面 扩束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭霞
供职机构：北京工业大学
研究主题：垂直腔面发射激光器 发光二极管 欧姆接触 欧姆接触电极 半导体光电子器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
纪峰
供职机构：合肥工业大学
研究主题：准相位匹配 光学参量振荡器 相干光源 PPLN 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋国志
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光学常数 校准 最小二乘法 集成电路 宽光谱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建东
供职机构：电子科技大学
研究主题：大学物理教学 表示式 WEYL 球面波 并行数据
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：椭偏测量 倏逝波 系统参数 延迟量 起偏器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜春光
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：成像 宽光谱 椭偏仪 椭偏测量 MTF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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