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上海市科委光科技专项(046105006)

作品数:1 被引量:8H指数:1
相关作者:刘玉菲高翔吴亚明李四华更多>>
相关机构:中国科学院更多>>
发文基金:上海市科委光科技专项更多>>
相关领域:机械工程更多>>

领域

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主题

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  • 3个低温键合
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  • 3个电极结构
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  • 3个原子气体
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  • 2个低热
  • 2个低损耗
  • 2个电路工艺
  • 2个电压调节

机构

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资助

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  • 1个山东省自然科...

传媒

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  • 1个行政与法
  • 1个资源科学
  • 1个环境工程

地区

  • 3个上海市
  • 1个浙江省
4 条 记 录,以下是 1-4
刘玉菲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高翔
供职机构:浙江大学
研究主题:催化剂 烟气 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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