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国家自然科学基金(40974110)
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巩岩
赵阳
赵磊
刘壮
张巍
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巩岩
供职机构:中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 光学设计 显微物镜
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赵阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学系统 投影物镜 微振动 装调 柔性铰链
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赵磊
供职机构:大连理工大学
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 像差 微动
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刘壮
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:成像光谱仪 全息 光学设计 极紫外 光栅
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孙振
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 轴向 投影光刻物镜 透镜
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王学亮
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷 光学元件 压电陶瓷驱动器 投影光刻物镜 镜框
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张巍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:镜框 光学元件 投影光刻物镜 像差 投影物镜
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彭海峰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 轴向 像差 支撑结构
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华洋洋
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:镜框 光学元件 光学系统 镜片 物镜
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刘满林
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:干涉仪 校正方法
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