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国家高技术研究发展计划(2006AA03Z353)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：徐文东范永涛郭传飞曹四海刘前更多>>
相关机构：国家纳米科学中心中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 5个机械工程
  • 5个电子电信
  • 5个理学
  • 4个金属学及工艺
  • 3个自动化与计算...
  • 3个一般工业技术
  • 1个化学工程
  • 1个电气工程
  • 1个文化科学

主题

  • 4个掩模
  • 4个衍射
  • 4个衍射极限
  • 3个点阵
  • 3个形貌特征
  • 3个颜料
  • 3个氧化物
  • 3个只读光盘
  • 3个溶液浸泡
  • 3个三明治
  • 2个大行程
  • 2个等离子体
  • 2个调焦
  • 2个调制
  • 2个掩模板
  • 2个样片
  • 2个乙酰
  • 2个乙酰胺
  • 2个有限元
  • 2个照明

机构

  • 3个中国科学院上...
  • 3个国家纳米科学...

资助

  • 5个国家高技术研...
  • 5个国家自然科学...
  • 3个北京市自然科...
  • 3个中国科学院知...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个国家科技重大...

传媒

  • 5个光子学报
  • 3个物理
  • 2个光学精密工程
  • 2个中国科技成果
  • 1个量子电子学报
  • 1个物理学报
  • 1个光学技术
  • 1个激光与光电子...
  • 1个中国激光
  • 1个光学学报
  • 1个计算机工程
  • 1个科技开发动态
  • 1个光谱学与光谱...

地区

  • 3个北京市
  • 2个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
郭传飞
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 产品尺寸 光电薄膜 二元合金 金属薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐文东
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：表面等离子体共振 光刻 探针 自动聚焦 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范永涛
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：激光直写 KDP 晶体生长 晶体 自动聚焦
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘前
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 金属薄膜 激光直写系统 基底 狭缝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹四海
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 二元合金 热阻 衬底 产品尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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