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上海市科委纳米专项基金(0552nm043)

作品数：3 被引量：3H指数：1
相关作者：石金川杨春生张丛春刘兴刚更多>>
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领域

  • 4个电子电信
  • 4个电气工程
  • 4个一般工业技术
  • 4个理学
  • 2个化学工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个机械工程
  • 2个自动化与计算...
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  • 1个交通运输工程
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  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学
  • 1个文化科学

主题

  • 4个低介电常数
  • 4个电容
  • 4个铜互连
  • 4个热稳定
  • 4个热稳定性
  • 4个牺牲层
  • 4个介电
  • 4个介电常数
  • 4个互连
  • 4个互连结构
  • 4个溅射
  • 3个导体
  • 3个导体材料
  • 3个电性能
  • 3个电阻率
  • 2个导电
  • 2个导电性能
  • 2个电沉积
  • 2个电池
  • 2个电磁驱动

机构

  • 4个上海交通大学
  • 1个华中科技大学
  • 1个教育部
  • 1个武汉工业大学
  • 1个华中理工大学
  • 1个武汉理工大学

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 4个上海市科委纳...
  • 4个上海-AM基...
  • 3个国家高技术研...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个上海市基础研...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个国防科技重点...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个吉林省自然科...
  • 1个陕西省科技攻...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个新疆维吾尔自...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个国际科技合作...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个教育部“新世...

传媒

  • 4个半导体技术
  • 4个功能材料与器...
  • 4个微细加工技术
  • 3个上海交通大学...
  • 3个功能材料
  • 2个复旦学报（自...
  • 2个传感技术学报
  • 2个压电与声光
  • 2个电子元件与材...
  • 2个微纳电子技术
  • 2个真空科学与技...
  • 2个传感器与微系...
  • 1个现代科学仪器
  • 1个光学精密工程
  • 1个科学通报
  • 1个电子工艺技术
  • 1个电子测量技术
  • 1个金属学报
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个新技术新工艺

地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
张丛春
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘兴刚
供职机构：上海交通大学
研究主题：互连结构 牺牲层 磁控溅射 铜互连 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石金川
供职机构：上海交通大学
研究主题：磁控溅射 介电性能 铁电薄膜 沉积温度 CU互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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