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国家高技术研究发展计划(2004AA404030)
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夏善红
黄庆安
秦明
白强
陈贤祥
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夏善红
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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彭春荣
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 电场测量
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 微电子机械系统 无源无线 微机电系统
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白强
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:微型电场传感器 电场传感器 屏蔽电极 传感器 三维电场
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秦明
供职机构:东南大学电子科学与工程学院
研究主题:风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
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龚超
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 微机电系统 仿真 屏蔽电极
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陈贤祥
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 热驱动 血压 屏蔽电极
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陈绍凤
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 MEMS 传感器 真空微电子压力传感器
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张中平
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS CMOS 聚酰亚胺 湿度传感器 微控制器
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彭韶华
供职机构:东南大学
研究主题:CMOS工艺兼容 聚酰亚胺 氧化层 极板 CMOS
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