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国家科技重大专项(2008ZX02104-001)
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路新春
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研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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赵建伟
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供职机构:西安交通大学
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张浩
供职机构:清华大学
研究主题:功率密度 交互过程 燃尽风 深度数据 预燃室
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赵德文
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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谢友柏
供职机构:上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题:摩擦学 磨损 内燃机 磨粒 轴承
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王同庆
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
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陈渭
供职机构:西安交通大学
研究主题:铰接 推力轴承 轴承 滚动轴承 磨损
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