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陕西省教育厅科研计划项目(12JK0469)

作品数：5 被引量：12H指数：3
相关作者：陈智利刘卫国李瑞张锦更多>>
相关机构：西安电子科技大学西安工业大学更多>>
发文基金：陕西省教育厅科研计划项目西安工业大学校长基金国防基础科研计划更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

领域

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主题

  • 3个单晶
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机构

  • 4个西安工业大学
  • 2个西安电子科技...
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  • 1个中国科学院
  • 1个西安工业学院

资助

  • 4个陕西省教育厅...
  • 4个西安工业大学...
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  • 3个陕西省教育厅...
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传媒

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地区

  • 4个陕西省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
刘卫国
供职机构：西安工业大学光电工程学院
研究主题：表面粗糙度 磁流变抛光 量子阱红外探测器 表面形貌 刻蚀速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈智利
供职机构：西安工业大学光电工程学院
研究主题：离子束 离子束刻蚀 表面形貌 磁流变抛光 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦
供职机构：西安工业大学光电工程学院
研究主题：光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李瑞
供职机构：西安工业大学光电工程学院
研究主题：粗糙度 表面形貌 表面粗糙度 RMS 单晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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