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国家重点基础研究发展计划(2011CB309501)

作品数：4 被引量：2H指数：1
相关作者：熊斌徐德辉王跃林刘米丰胡斌更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 5个电子电信
  • 5个自动化与计算...
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主题

  • 7个圆片
  • 7个键合
  • 6个形变
  • 6个塑性
  • 5个弹性梁
  • 5个低温真空
  • 5个压力传感器
  • 5个压阻
  • 5个压阻式
  • 5个压阻式压力传...
  • 5个压阻效应
  • 4个单片
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  • 4个低频噪声
  • 4个低温键合
  • 4个电极
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  • 3个单端
  • 3个单晶
  • 3个单晶硅

机构

  • 7个中国科学院
  • 2个中国科学院研...
  • 2个中国科学院大...
  • 1个上海交通大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中科院上海微...
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 7个国家高技术研...
  • 7个国家重点基础...
  • 6个国家科技重大...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个“上海－应用...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个教育部“优秀...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市科学技...
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  • 1个国际科技合作...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个霍英东青年教...
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传媒

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  • 4个传感技术学报
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地区

  • 7个上海市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
徐德辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐铭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片 塑性形变 衬底 差分电容 弹性梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MICRORNA 靶标 光学系统 信号增强 键合工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚邵康
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片 塑性形变 透镜 键合 制作方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘米丰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：非晶硅 硅圆片 溅射 单晶硅 金膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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