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国家科技重大专项(2009ZX02023005)
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刘紫玉
刘明
霍宗亮
杨建红
刘璟
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中国科学院微电子研究所
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白杰
供职机构:兰州大学物理科学与技术学院
研究主题:CTM AL2O3 高K材料 阻挡层 隧穿
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杨建红
供职机构:兰州大学
研究主题:静电感应晶体管 静电感应器件 CMOS工艺 草原生态系统 野外
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霍宗亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
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刘紫玉
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:CTM AL2O3 高K材料 阻挡层 隧穿
发表作品
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张满红
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 俘获 浮栅 纳米晶 阻挡层
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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刘璟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 俘获 电路 电子设备 浮栅
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