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福建省教育厅资助项目(JA11158)

作品数：3 被引量：2H指数：1
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领域

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主题

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  • 1个等离子体化学
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机构

  • 2个浙江大学
  • 1个集美大学

资助

  • 2个福建省自然科...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个福建省教育厅...

传媒

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地区

  • 1个福建省
  • 1个浙江省
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徐文彬
供职机构：集美大学信息工程学院
研究主题：氧空位 栅介质 XN TIO 等离子处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任高潮
供职机构：浙江大学信息与电子工程学系
研究主题：溅射 磁控溅射 靶材 靶面 充气器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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