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国家高技术研究发展计划(2004AA420040-2)
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刘云
徐德
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刘云
供职机构:中国科学院自动化研究所
研究主题:掩模板 四象限探测器 掩模 光栅尺 机械手
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徐德
供职机构:中国科学院自动化研究所
研究主题:机器人 显微视觉 图像 微装配 视觉系统
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供职机构:中国科学院自动化研究所
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王秀青
供职机构:河北师范大学
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李庆涛
供职机构:中国科学院自动化研究所
研究主题:PLC 四象限探测器 运动控制器
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汪建华
供职机构:中国科学院自动化研究所
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