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国家自然科学基金(50575132)
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陈迪
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陈迪
供职机构:上海交通大学
研究主题:微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
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孟光
供职机构:上海交通大学
研究主题:转子 振动控制 转子系统 挤压油膜阻尼器 故障诊断
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张文明
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 变刚度 MEMS 介电弹性体 动力学
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靖向萌
供职机构:上海交通大学
研究主题:微电子机械系统 信号电路 梁型 套刻精度 探针
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朱军
供职机构:上海交通大学
研究主题:微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
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陈翔
供职机构:教育部
研究主题:电极 微针 PDMS 金属 磁珠
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刘景全
供职机构:上海交通大学
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张晔
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研究主题:UV-LIGA技术 UV-LIGA SU-8胶 微结构 SU-8光刻胶
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李建华
供职机构:上海交通大学
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周健斌
供职机构:上海飞机设计研究院
研究主题:微机电系统 分岔 气体轴承 非线性动力 机翼
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