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国家科技支撑计划(2011BAKl5809)
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陈本永
李伟
卢明臻
高思田
施玉书
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李庆贤
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:激光干涉 校准 六自由度 计量学 校准系统
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卢明臻
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 激光干涉仪 干涉仪 纳米
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高思田
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 激光干涉仪 探针
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李伟
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 扫描探针 测头
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陈本永
供职机构:浙江理工大学
研究主题:激光 合成波长 双频激光器 激光干涉 正弦相位调制
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施玉书
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 激光干涉仪 纳米
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