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国防基础科研计划(A0920110016)

作品数:6 被引量:18H指数:3
相关作者:刘卫国陈智利史国权吴庆堂张锦更多>>
相关机构:西安工业大学西安电子科技大学长春理工大学更多>>
发文基金:国防基础科研计划陕西省教育厅科研计划项目西安工业大学校长基金更多>>
相关领域:理学机械工程金属学及工艺核科学技术更多>>

领域

  • 9个金属学及工艺
  • 9个机械工程
  • 9个理学
  • 8个电子电信
  • 8个自动化与计算...
  • 8个一般工业技术
  • 8个文化科学
  • 7个化学工程
  • 4个电气工程
  • 4个交通运输工程
  • 4个核科学技术
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个医药卫生
  • 2个石油与天然气...
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个农业科学
  • 2个兵器科学与技...
  • 1个哲学宗教
  • 1个生物学

主题

  • 7个等离子体
  • 6个等离子
  • 6个掩模
  • 6个衍射
  • 6个折射率
  • 5个等离子体源
  • 5个等离子体增强
  • 5个等离子体增强...
  • 5个底座
  • 5个栅网
  • 5个真空
  • 4个单晶
  • 4个电学
  • 4个电学特性
  • 4个多光束干涉
  • 4个衍射光学
  • 4个衍射光学元件
  • 4个仪器
  • 4个碳化硅
  • 3个等离子处理

机构

  • 8个西安工业大学
  • 5个西安工业学院
  • 3个西安电子科技...
  • 2个长春理工大学
  • 2个中国科学院
  • 2个悉尼大学
  • 1个长春光学精密...
  • 1个吉林工业大学
  • 1个吉林大学
  • 1个四川大学
  • 1个西安交通大学
  • 1个西北工业大学
  • 1个陕西科技大学
  • 1个中国科学院长...
  • 1个长春光机学院

资助

  • 10个国防基础科研...
  • 8个国家自然科学...
  • 8个陕西省教育厅...
  • 8个陕西省教育厅...
  • 7个西安工业大学...
  • 6个陕西省自然科...
  • 4个国家科技重大...
  • 4个西安市科技计...
  • 4个兵器预研支撑...
  • 3个教育部科学技...
  • 3个陕西省教育厅...
  • 3个陕西省薄膜技...
  • 3个陕西省科学技...
  • 3个中国人民解放...
  • 3个中国人民解放...
  • 2个陕西省科技攻...
  • 2个国际科技合作...
  • 2个国家级大学生...
  • 2个陕西省教育厅...
  • 2个西安应用材料...

传媒

  • 8个应用光学
  • 7个光子学报
  • 7个光电工程
  • 7个真空科学与技...
  • 6个光学技术
  • 6个激光与光电子...
  • 6个中国激光
  • 6个表面技术
  • 6个西安工业大学...
  • 6个2010年西...
  • 5个红外与激光工...
  • 5个光学学报
  • 5个强激光与粒子...
  • 5个真空
  • 5个西安工业学院...
  • 5个激光与红外
  • 5个光学与光电技...
  • 4个真空科学与技...
  • 4个光学仪器
  • 3个光学精密工程

地区

  • 8个陕西省
  • 2个吉林省
10 条 记 录,以下是 1-10
刘卫国
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:表面粗糙度 磁流变抛光 量子阱红外探测器 表面形貌 刻蚀速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史国权
供职机构:长春理工大学
研究主题:回转体 刻划 金刚石 插齿刀 激光原位
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴庆堂
供职机构:长春理工大学
研究主题:光学元件 光学机械 抛光装置 无间隙 气动系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈智利
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:离子束 离子束刻蚀 表面形貌 磁流变抛光 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王飞飞
供职机构:西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室
研究主题:分析仪 离子能量 栅网 等离子体 离子源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杭凌侠
供职机构:西安工业大学
研究主题:类金刚石薄膜 表面粗糙度 离子能量 光学薄膜 非平衡磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘永强
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学薄膜 表面粗糙度 离子束辅助沉积 光散射 光学常数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
弥谦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:离子能量 类金刚石膜 离子镀 类金刚石薄膜 光学薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡长龙
供职机构:西安工业大学
研究主题:离子镀 类金刚石薄膜 离子束 离子源 工艺参数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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