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国防基础科研计划(A0920110016)
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刘卫国
陈智利
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刘卫国
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:表面粗糙度 磁流变抛光 量子阱红外探测器 表面形貌 刻蚀速率
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史国权
供职机构:长春理工大学
研究主题:回转体 刻划 金刚石 插齿刀 激光原位
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吴庆堂
供职机构:长春理工大学
研究主题:光学元件 光学机械 抛光装置 无间隙 气动系统
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陈智利
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:离子束 离子束刻蚀 表面形貌 磁流变抛光 表面粗糙度
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王飞飞
供职机构:西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室
研究主题:分析仪 离子能量 栅网 等离子体 离子源
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张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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杭凌侠
供职机构:西安工业大学
研究主题:类金刚石薄膜 表面粗糙度 离子能量 光学薄膜 非平衡磁控溅射
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潘永强
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学薄膜 表面粗糙度 离子束辅助沉积 光散射 光学常数
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弥谦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:离子能量 类金刚石膜 离子镀 类金刚石薄膜 光学薄膜
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蔡长龙
供职机构:西安工业大学
研究主题:离子镀 类金刚石薄膜 离子束 离子源 工艺参数
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