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北京市传感器重点实验室开放课题基金资助项目(53053005)
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汪银年
毛旭
张福学
丁明清
刘宇
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张福学
供职机构:北京信息科技大学传感技术研究中心
研究主题:传感器 微机械 硅微机械陀螺 角速度 陀螺
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刘宇
供职机构:北京信息工程学院传感技术研究中心
研究主题:微机械 MEMS KOH SI 刻蚀
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丁明清
供职机构:中国电子科技集团公司第十二研究所
研究主题:金刚石 微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 太赫兹 行波管
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汪银年
供职机构:北京信息工程学院传感技术研究中心
研究主题:差动电容 硅微机械陀螺 检测电路 小信号 频率特性
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毛旭
供职机构:北京信息工程学院传感技术研究中心
研究主题:磁控溅射 陀螺 微机械 角速度 硅微机械陀螺
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