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电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金(51433020205DZ01)

作品数：5 被引量：8H指数：2
相关作者：杨银堂吴振宇汪家友柴常春蒋昱更多>>
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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
吴振宇
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：电子回旋共振 铜互连 A-C:F 电迁移 ECR-CVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨银堂
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：硅 片上网络 电路 CMOS 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪家友
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：电子回旋共振 A-C:F 淀积 ECR-CVD 化学气相淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏祥林
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：电子回旋共振 超大规模集成电路 层间介质 互连 低K介质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋昱
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：低介电常数 电子回旋共振 热稳定性研究 热稳定性 层间介质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柴常春
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：碳化硅 电磁脉冲 电极 高功率微波 电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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