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国家高技术研究发展计划(YOGZ028003)

作品数：1 被引量：15H指数：1
相关作者：王磊郭新贺景玉鹏更多>>
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领域

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 3个北京市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
王磊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：二次谐波 临界态 光刻胶 硅片 厚层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭新贺
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：真空系统 干冰 硅片表面 微粒 水资源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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