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国家自然科学基金(10875125)

作品数：2 被引量：14H指数：1
相关作者：刘刚熊瑛田扬超黄新龙陈光焱更多>>
相关机构：中国科学技术大学中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

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地区

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
刘刚
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：LIGA技术 光刻 波带片 X射线 LIGA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊瑛
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：水体 大高宽比 光刻胶 微流控芯片 旋涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田扬超
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔焕焕
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：大高宽比 衍射效率 微机电系统 实时监测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄新龙
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：LIGA UV-LIGA 加速度开关 牺牲层技术 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周杰
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：CT NANO 孔隙率 多孔陶瓷材料 多孔陶瓷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈光焱
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：惯性开关 微机电系统 MEMS G值 开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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