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国家自然科学基金(60701012)

作品数：5 被引量：7H指数：2
相关作者：杨春生张丛春侯捷丁桂甫石金川更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海-AM基金更多>>
相关领域：电子电信化学工程一般工业技术电气工程更多>>

领域

  • 8个电子电信
  • 7个理学
  • 6个电气工程
  • 5个一般工业技术
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  • 3个机械工程
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主题

  • 8个溅射
  • 8个磁控
  • 8个磁控溅射
  • 7个射频磁控
  • 7个射频磁控溅射
  • 7个介电
  • 6个电性能
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  • 6个微结构
  • 6个介电性
  • 6个介电性能
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  • 4个导体材料
  • 4个低介电常数
  • 3个多层膜

机构

  • 8个上海交通大学
  • 2个教育部
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  • 1个名古屋大学
  • 1个武汉工业大学
  • 1个华中理工大学
  • 1个武汉理工大学
  • 1个交通大学

资助

  • 8个国家自然科学...
  • 6个国家高技术研...
  • 5个上海市科委纳...
  • 5个上海-AM基...
  • 3个教育部科学技...
  • 3个上海市基础研...
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  • 2个国防科技重点...
  • 2个国家重点基础...
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  • 2个国家科技重大...
  • 2个国家教育部博...
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传媒

  • 6个上海交通大学...
  • 5个功能材料
  • 5个功能材料与器...
  • 5个微细加工技术
  • 5个微纳电子技术
  • 4个半导体技术
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  • 2个现代科学仪器
  • 2个光学精密工程
  • 2个电子工艺技术
  • 2个电子测量技术
  • 2个新技术新工艺
  • 2个电子学报
  • 2个中国机械工程
  • 2个材料保护
  • 2个光学学报
  • 2个电镀与环保
  • 2个强激光与粒子...
  • 2个表面技术

地区

  • 8个上海市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
张丛春
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯捷
供职机构：上海交通大学
研究主题：射频磁控溅射 介电性能 结合力 阻挡层 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁桂甫
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石金川
供职机构：上海交通大学
研究主题：磁控溅射 介电性能 铁电薄膜 沉积温度 CU互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘兴刚
供职机构：上海交通大学
研究主题：互连结构 牺牲层 磁控溅射 铜互连 子层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱群
供职机构：上海交通大学
研究主题：CIGS 铜铟镓硒 太阳能电池 玻璃衬底 CIGS薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶瑞
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：SR 薄膜微结构 介电性能 钛酸锶钡薄膜 射频磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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