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国家自然科学基金(60401009)

作品数:2 被引量:3H指数:1
相关作者:王喆垚刘理天何枫曾雪锋吴建刚更多>>
相关机构:清华大学更多>>
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相关领域:机械工程自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

  • 8个淀积
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  • 8个微机械
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  • 7个疏水表面
  • 6个单晶
  • 6个单晶硅
  • 6个水性
  • 6个微电子
  • 6个微电子机械
  • 6个微机电系统
  • 5个等离子体
  • 5个液滴
  • 5个支撑物
  • 5个水层
  • 5个驱动器
  • 5个微流控
  • 4个低驱动电压

机构

  • 9个清华大学
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  • 1个东南大学
  • 1个吉首大学
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资助

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传媒

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  • 3个真空科学与技...
  • 3个固体电子学研...

地区

  • 9个北京市
9 条 记 录,以下是 1-9
王喆垚
供职机构:清华大学
研究主题:键合 三维集成电路 辅助圆 圆片 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡欢
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微全分析系统 水性 薄膜介质 极板 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾雪锋
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:介质上电润湿 微流体 微机械 芯片实验室 微全分析系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何枫
供职机构:清华大学
研究主题:数值模拟 液滴 冲击射流 射流 微管道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董良
供职机构:清华大学信息科学技术学院电子工程系
研究主题:室温红外探测器 介质上电润湿 非晶硅 微测辐射热计 TFT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴建刚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:介质上电润湿 微流体 微机械 变焦 芯片实验室
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
庄志伟
供职机构:清华大学
研究主题:压阻 悬臂梁 检测器件 绝热性能 位置敏感探测器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
岳瑞峰
供职机构:清华大学
研究主题:介质上电润湿 微针 注射针头 压力传感器 经皮给药
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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