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国家自然科学基金(51035005)

作品数：26 被引量：39H指数：3
相关作者：李以贵杉山进陈翔刘景全廖哲勋更多>>
相关机构：上海应用技术大学上海交通大学日本立命馆大学更多>>
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相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>

领域

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机构

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传媒

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地区

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共 15 条 记 录，以下是 1-10
李以贵
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杉山进
供职机构：日本立命馆大学
研究主题：高深宽比 聚甲基丙烯酸甲酯 PZT X光 锆钛酸铅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖哲勋
供职机构：上海交通大学
研究主题：微细加工工艺 微针 方腔 反应离子刻蚀 反应离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱军
供职机构：上海交通大学
研究主题：微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄远
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：液相 PZT 压电陶瓷 压电 微细加工技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
颜平
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：液相 PZT 压电陶瓷 压电 微细加工技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈翔
供职机构：教育部
研究主题：电极 微针 PDMS 金属 磁珠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘景全
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 MEMS 微机电系统 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭广彬
供职机构：上海交通大学
研究主题：MEMS技术 掺杂 SUB 压力传感器 纳米SIO2
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柴欣
供职机构：上海交通大学
研究主题：MEMS技术 掺杂 SUB 压力传感器 纳米SIO2
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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