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国家自然科学基金(50535030)
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蒋庄德
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
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张文栋
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 加速度计 电容式 超声换能器
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王立鼎
供职机构:北京四方继保自动化股份有限公司
研究主题:微流控芯片 微机电系统 精密齿轮 精密加工技术 齿轮
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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薛晨阳
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 电极 水听器 心音
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褚金奎
供职机构:大连理工大学机械工程学院
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栗大超
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研究主题:MEMS 组织液 微机电系统 葡萄糖浓度 表面等离子共振
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