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中国航空科学基金(59493300)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：沈雅明刘文婷许宁刘正堂更多>>
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领域

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主题

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  • 4个射频磁控溅射
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机构

  • 4个西北工业大学
  • 1个西安交通大学
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资助

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传媒

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  • 1个高等学校化学...
  • 1个稀土
  • 1个半导体技术
  • 1个燕山大学学报

地区

  • 4个陕西省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
刘文婷
供职机构：西安石油大学材料科学与工程学院
研究主题：射频磁控溅射 HFO2薄膜 磁控反应溅射 HFO 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许宁
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：磁控反应溅射 沉积速率 HFO2薄膜 光学性能 HFO2
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘正堂
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：电子结构 第一性原理 第一性原理计算 射频磁控溅射 光学性质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈雅明
供职机构：西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室
研究主题：氧化镱 溅射法制备 射频磁控溅射 射频磁控 沉积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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