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江苏省自然科学基金(BK2008086)
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相关作者:
杜国平
朱健
郁元卫
侯智昊
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南京电子器件研究所
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江苏省自然科学基金
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杜国平
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:开关 硅膜 硅 RF_MEMS开关 可靠性
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供职机构
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研究领域
侯智昊
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:RF_MEMS开关 MEMS开关 毫米波 开关 射频微机电系统开关
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供职机构
所获资助
研究领域
朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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供职机构
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研究领域
郁元卫
供职机构:南京电子器件研究所
研究主题:毫米波 MEMS MEMS开关 RF_MEMS开关 MEMS移相器
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