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国家自然科学基金(61076076)
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张卫
丁士进
李连杰
朱宝
张秋香
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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张秋香
供职机构:上海建桥学院
研究主题:MIM 高介电常数 绝缘体 绝缘介质 金属
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朱宝
供职机构:复旦大学微电子学院
研究主题:MIM 高介电常数 绝缘体 绝缘介质 金属
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臧松干
供职机构:复旦大学
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刘昕彦
供职机构:复旦大学
研究主题:集成电路芯片 场效应晶体管 发光二极管 开关速度 阵列
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林曦
供职机构:复旦大学
研究主题:半导体存储器 绝缘体 漏电流 量子 存储器
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王鹏飞
供职机构:复旦大学
研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
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朱宝
供职机构:复旦大学
研究主题:浮栅 电容 硅 金属 TSV
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李连杰
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:快速热退火 重掺杂
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