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国家自然科学基金(50545012)
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甘志银
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张鸿海
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 宽范围 扫描探针显微镜 MEMS
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刘胜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
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汪学方
供职机构:华中科技大学
研究主题:真空封装 微机电系统 刻蚀 键合 硅
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甘志银
供职机构:华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题:真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
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刘玮钦
供职机构:华中科技大学
研究主题:微波辅助 陶瓷材料 波导 加工刀具 微波天线
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艾叶
供职机构:华中科技大学
研究主题:角速度 技术工艺 结构层 流体检测 微加工
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刘伟钦
供职机构:华中科技大学
研究主题:微波辅助 陶瓷材料
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罗小兵
供职机构:华中科技大学
研究主题:荧光粉 白光LED 荧光粉层 微型泵 量子点
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