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国家自然科学基金(10575097)

作品数：6 被引量：9H指数：2
相关作者：周洪军霍同林郑津津蒋新亭钟鹏飞更多>>
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领域

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机构

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资助

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地区

  • 9个安徽省
  • 1个吉林省
共 10 条 记 录，以下是 1-10
周洪军
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：多层膜 真空紫外 光束线 软X射线 离子束刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
霍同林
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：多层膜 真空紫外 软X射线 光束线 离子束刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟鹏飞
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题：光学元件 英文 高次 臭氧 氧原子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑津津
供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题：接近式光刻 高次谐波 英文 曲面重构 三维重建
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋新亭
供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题：性能研究 传输性能 AR 硅光电二极管 光电离截面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王瑜
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：非均匀B样条曲面 曲面重构 药量 分解温度 有机过氧化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘颖
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射光栅 全息光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付绍军
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈连婠
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：基于WEB 大规模定制 仿真 优化设计 接近式光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺胜男
供职机构：中国科学技术大学
研究主题：衍射效率 高次谐波 单色仪 真空紫外 波段
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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