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中国航空科学基金(2008ZE53043)

作品数：9 被引量：21H指数：3
相关作者：李阳平刘正堂徐启远张淼武倩更多>>
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领域

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 11个陕西省
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  • 1个广东省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
李阳平
供职机构：西北工业大学
研究主题：反应离子刻蚀 射频磁控溅射 衬底 亚波长结构 计算机模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘正堂
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：电子结构 第一性原理 第一性原理计算 射频磁控溅射 光学性质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐启远
供职机构：清华大学研究院
研究主题：反应离子刻蚀 ZNS 穿孔 集流 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张淼
供职机构：中国商飞上海飞机设计研究院
研究主题：CFD 反应离子刻蚀 数值模拟 优化设计 机翼
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武倩
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：反应离子刻蚀 ZNS 抗反射 衬底 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑倩
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：反应离子刻蚀 锗 亚波长结构 衬底 衍射效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海波
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：亚波长结构 反应离子刻蚀 光刻 石英 刻蚀速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车兴森
供职机构：西北工业大学
研究主题：磁控溅射 亚波长结构 亚波长 RIE 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘辉
供职机构：西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室
研究主题：衬底 衍射效应 锗 反应离子刻蚀 刻蚀深度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢红成
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：衬底 锗 反应离子刻蚀 红外 宽波段
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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