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国家自然科学基金(60936002)
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王德苗
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周剑
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王德苗
供职机构:浙江大学
研究主题:磁控溅射 溅射 金属化 靶材 压电薄膜
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任天令
供职机构:清华大学
研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
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周剑
供职机构:国防科学技术大学机电工程与自动化学院
研究主题:声表面波器件 压电薄膜 柔性衬底 溅射功率 缓冲层
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金浩
供职机构:浙江大学
研究主题:溅射 声表面波 声表面波传感器 无线无源 磁控溅射
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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供职机构:浙江大学
研究主题:触发 可控硅 静电放电 可控硅器件 静电防护
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供职机构:清华大学
研究主题:铁电 衬底 动态随机存储器 电极 合金化处理
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沈小虎
供职机构:浙江大学信息与电子工程学系
研究主题:溅射 磁控溅射 铁氧体 磁控溅射靶 膜层质量
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供职机构:清华大学
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冯斌
供职机构:浙江大学信息与电子工程学系
研究主题:磁控溅射 金属化 电性能 溅射 PZT
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