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国家高技术研究发展计划(2009AA04Z317)

作品数：7 被引量：16H指数：3
相关作者：冯飞李昕欣戈肖鸿王跃林魏旭东更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院大学中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程电气工程更多>>

领域

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主题

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资助

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传媒

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地区

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共 11 条 记 录，以下是 1-10
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 微机电系统 热导检测器 固定相 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞正寅
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微泵 传感器件 高深宽比 感应耦合等离子体 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
霍建琴
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：温差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张云胜
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：真空封装 晶圆 吸气剂 封装芯片 红外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 气体传感器 石墨烯 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文荣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 衬底 化学气相沉积 常压 PDMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏旭东
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：成像芯片 阳极键合 红外 读出 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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