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国家重点基础研究发展计划(2011CB013102)

作品数：7 被引量：23H指数：3
相关作者：潘国顺周艳龚桦郭丹汪嘉澍更多>>
相关机构：清华大学清华大学研究院深圳大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：电气工程机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

领域

  • 12个电子电信
  • 10个金属学及工艺
  • 10个机械工程
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  • 7个自动化与计算...
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  • 1个生物学
  • 1个天文地球

主题

  • 13个化学机械抛光
  • 13个机械抛光
  • 11个抛光
  • 9个电池
  • 9个抛光液
  • 9个磨粒
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  • 7个抛光垫
  • 7个抛光速率
  • 7个络合剂
  • 6个电催化
  • 6个质子
  • 5个电化学

机构

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  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国矿业大学...
  • 1个青华大学
  • 1个深圳市特种功...

资助

  • 15个国家重点基础...
  • 15个国家自然科学...
  • 13个国际科技合作...
  • 8个创新研究群体...
  • 7个清华大学自主...
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传媒

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  • 6个物理化学学报
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  • 3个材料保护
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  • 3个化学进展
  • 3个数字制造科学
  • 2个科学通报
  • 2个金属热处理
  • 2个中国机械工程
  • 2个机械工程材料

地区

  • 10个广东省
  • 5个北京市
共 15 条 记 录，以下是 1-10
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭丹
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁晓璐
供职机构：清华大学研究院
研究主题：膜电极 膜电极组件 转印 质子交换膜燃料电池 催化层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚桦
供职机构：清华大学研究院
研究主题：化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪嘉澍
供职机构：清华大学研究院
研究主题：质子交换膜燃料电池 膜电极组件 膜电极 转印 催化剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周艳
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐莉
供职机构：清华大学研究院
研究主题：非贵金属 化学机械抛光 4H-SIC 晶片 非铂催化剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭玉龙
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 布线 布线结构 集成电路芯片 线速度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤皎宁
供职机构：深圳大学
研究主题：微胶囊 电沉积 复合镀层 非水体系 壁材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史晓磊
供职机构：清华大学研究院
研究主题：LED 化学机械抛光 蓝宝石 原子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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