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国家高技术研究发展计划(2006AA04Z363)

作品数：4 被引量：19H指数：3
相关作者：车录锋熊斌王跃林李玉芳徐玮鹤更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李玉芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电容式加速度传感器 检波电路 硅 键合 太阳电池阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林友玲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电容式加速度传感器 加速度传感器 弹性梁 三明治 大尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐玮鹤
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电容式加速度传感器 硅 键合 弹性梁 内侧面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵楷
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：VERILOG-A MEMS加速度计 寄生电容 机械噪声 集成接口
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周晓峰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛健
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：加速度传感器 电容式加速度传感器 电容间隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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