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国家科技重大专项(2009ZX02206-005)
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相关作者:
靳京城
金春水
邓文渊
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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靳京城
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 极紫外 激光 元件
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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相关人物
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邓文渊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:深紫外 光学薄膜 激光 多层膜 元件
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