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国家自然科学基金(91023016)
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郭丹
李静楠
王元元
司丽娜
雒建斌
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郭丹
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
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李静楠
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:测量方法 摩擦力 原子力显微镜
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王元元
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:弹性模量 纳米微球 力学性能 单层膜 测量方法
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司丽娜
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:超精密加工 分子动力学模拟 分子动力学 硅团簇 单晶硅
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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