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国家自然科学基金(91023019)

作品数：3 被引量：21H指数：2
相关作者：王紫光高尚康仁科董志刚朱祥龙更多>>
相关机构：大连理工大学更多>>
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相关领域：金属学及工艺电子电信化学工程更多>>

领域

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机构

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资助

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地区

  • 7个辽宁省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
王紫光
供职机构：大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题：亚表面 硅片 材料去除机理 表面粗糙度 单晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高尚
供职机构：大连理工大学
研究主题：亚表面 砂轮 刀具 晶片 工件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康仁科
供职机构：大连理工大学
研究主题：超声 砂轮 蜂窝芯 化学机械抛光 刀具
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱祥龙
供职机构：大连理工大学
研究主题：超声 蜂窝芯 刀具 螺旋铣 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董志刚
供职机构：大连理工大学
研究主题：超声 蜂窝芯 螺旋铣 刀具 砂轮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周平
供职机构：大连理工大学
研究主题：抛光垫 抛光 密封环 硬脆材料 粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭东明
供职机构：大连理工大学
研究主题：化学机械抛光 天线罩 抛光 硅片 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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