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国家自然科学基金(60871006)

作品数：2 被引量：3H指数：1
相关作者：汪超男李爱玲周有铮刘理天更多>>
相关机构：中国人民解放军装备指挥技术学院清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信生物学更多>>

领域

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主题

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传媒

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地区

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
李爱玲
供职机构：中国人民解放军装备指挥技术学院
研究主题：掺杂 表面应力 压阻 敏感型 微悬臂梁传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周有铮
供职机构：清华大学
研究主题：微悬臂梁传感器 检测器件 压阻 压阻式 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪超男
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：掺杂 表面应力 压阻 敏感型 微悬臂梁传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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