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国家科技重大专项(2008ZX02401)
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周旗钢
徐文婷
戴小林
滕冉
鲁进军
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北京有色金属研究总院
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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徐文婷
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:数值模拟 SI 离子注入 硅单晶 固液界面
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戴小林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:直拉硅单晶 单晶炉 氧化诱生层错 硅单晶 挥发物
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刘斌
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氧沉淀 微缺陷 多晶硅 硅片 CZ硅单晶
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吴志强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 直拉硅单晶 热屏 单晶炉 大直径
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所获资助
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滕冉
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 数值模拟 热屏 单晶硅 固液界面
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鲁进军
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
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常麟
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:直拉硅单晶 氧浓度 数值模拟 有限元分析 SI
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姜舰
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研究主题:PID参数优化 PID参数 大直径 等径
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杜娟
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:CZ硅单晶 氩 高温退火 微缺陷 大直径
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