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国家科技重大专项(2008ZX02401)

作品数：8 被引量：37H指数：4
相关作者：周旗钢徐文婷戴小林滕冉鲁进军更多>>
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相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>

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地区

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共 18 条 记 录，以下是 1-10
周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐文婷
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：数值模拟 SI 离子注入 硅单晶 固液界面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴小林
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：直拉硅单晶 单晶炉 氧化诱生层错 硅单晶 挥发物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘斌
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：氧沉淀 微缺陷 多晶硅 硅片 CZ硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴志强
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 直拉硅单晶 热屏 单晶炉 大直径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
滕冉
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 数值模拟 热屏 单晶硅 固液界面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲁进军
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常麟
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：直拉硅单晶 氧浓度 数值模拟 有限元分析 SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜舰
供职机构：
研究主题：PID参数优化 PID参数 大直径 等径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜娟
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：CZ硅单晶 氩 高温退火 微缺陷 大直径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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