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国家科技重大专项(2008ZX02501)

作品数：6 被引量：16H指数：3
相关作者：赵永蓬王骐李琦徐强郭本银更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所哈尔滨工业大学中国科学院大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信更多>>

领域

  • 21个理学
  • 20个电子电信
  • 19个机械工程
  • 15个自动化与计算...
  • 12个文化科学
  • 10个化学工程
  • 10个金属学及工艺
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  • 9个核科学技术
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  • 2个农业科学
  • 2个兵器科学与技...

主题

  • 21个光刻
  • 17个激光
  • 15个等离子体
  • 14个衍射
  • 12个透射
  • 11个电路
  • 11个入射
  • 10个掩模
  • 9个电磁
  • 9个电极
  • 9个多层膜
  • 8个守恒
  • 8个数据处理
  • 8个投影物镜
  • 7个单级
  • 7个有限元
  • 5个等离子体共振
  • 5个点衍射干涉仪
  • 5个电镀
  • 4个单脉冲

机构

  • 9个中国科学院长...
  • 6个哈尔滨工业大...
  • 5个中国工程物理...
  • 4个中国科学院微...
  • 3个中国科学院
  • 2个北京应用物理...
  • 2个长春理工大学
  • 2个兰州大学
  • 2个北京工业大学
  • 2个中国科学院大...
  • 1个长春光学精密...
  • 1个复旦大学
  • 1个东北林业大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个湖北教育学院
  • 1个华中科技大学
  • 1个吉林大学
  • 1个北京理工大学
  • 1个清华大学
  • 1个湖北第二师范...

资助

  • 22个国家科技重大...
  • 20个国家自然科学...
  • 11个国家高技术研...
  • 8个国家重点基础...
  • 6个国家教育部博...
  • 5个中国博士后科...
  • 5个中国工程物理...
  • 4个吉林省科技发...
  • 4个应用光学国家...
  • 3个国防基础科研...
  • 3个哈尔滨工业大...
  • 3个国家杰出青年...
  • 3个吉林省科技厅...
  • 3个博士科研启动...
  • 3个国家重大科学...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个教育部“新世...
  • 3个中央高校基本...
  • 2个广东省自然科...
  • 2个国防科技技术...

传媒

  • 16个物理学报
  • 13个强激光与粒子...
  • 12个光学学报
  • 11个中国激光
  • 9个红外与激光工...
  • 9个激光与光电子...
  • 8个光学精密工程
  • 8个光子学报
  • 8个光电工程
  • 6个光电子．激光
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  • 6个中国光学
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  • 4个Journa...
  • 4个激光技术
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  • 4个微纳电子技术
  • 3个高等学校化学...
  • 3个物理
  • 3个核技术

地区

  • 8个吉林省
  • 7个北京市
  • 4个黑龙江省
  • 2个四川省
  • 1个湖北省
共 22 条 记 录，以下是 1-10
徐强
供职机构：东北林业大学理学院
研究主题：极紫外光刻 毛细管放电 热障涂层 光源 陶瓷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永蓬
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：毛细管放电 极紫外光刻 光源 毛细管 氩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李琦
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：太赫兹 激光雷达 成像系统 相干激光雷达 太赫兹成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王骐
供职机构：湖北第二师范学院
研究主题：激光雷达 毛细管放电 图像处理 激光成像雷达 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭本银
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 面形 沥青 六自由度 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金春水
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王君
供职机构：中国科学院
研究主题：极紫外光刻 掩模 光学系统 极紫外 多层膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高南
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：大高宽比 衬底 测量方法 波带片 衍射元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁宁
供职机构：北京应用物理与计算数学研究所
研究主题：Z箍缩 数值模拟 电路模拟 惯性约束聚变 X射线辐射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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