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上海市自然科学基金(05ZR14017)
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相关作者:
蒋玉龙
屈新萍
李炳宗
茹国平
黄巍
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相关机构:
复旦大学
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上海市自然科学基金
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 硅化物
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:NISI 固相反应 硅化物 课堂 超浅结
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 微电子 NISI 硅化物 SI
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所获资助
研究领域
黄巍
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院微电子学系
研究主题:铂 SI PT NISI 薄膜应力
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