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国家科技重大专项(2008ZX02105-003)
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田艺
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许晓燕
供职机构:北京大学
研究主题:多晶硅 超大规模集成电路 栅介质 超薄栅介质 线条
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黄如
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 沟道 存储器 晶体管 超大规模集成电路
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田艺
供职机构:北京大学微电子学研究院
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