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国家自然科学基金(41074129)

作品数：4 被引量：2H指数：1
相关作者：车录锋黎晓林蔡梅妮周晓峰林友玲更多>>
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地区

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共 10 条 记 录，以下是 1-10
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黎晓林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：加速度计 三明治 高Q值 MEMS加速度传感器 Σ-Δ调制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周晓峰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏荣涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 焊盘 寄生电容 寄生 微加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林友玲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电容式加速度传感器 加速度传感器 弹性梁 三明治 大尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡梅妮
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：三明治 MEMS加速度传感器 加速度传感器 划片 品质因数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李刚
供职机构：重庆理工大学
研究主题：微管道 微流控芯片 微电极阵列 芯片 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：微机电系统 MEMS 电磁式 SI 仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴健
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：加速度计 高Q值 Σ-Δ调制 现场可编程门阵列 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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