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广东省中国科学院全面战略合作项目(2009B091300006)
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
相关作者:
刘国强
周崇喜
张锦
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广东省中国科学院全面战略合作项目
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刘国强
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:干涉光刻
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张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
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