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广东省中国科学院全面战略合作项目(2009B091300006)

作品数:1 被引量:6H指数:1
相关作者:刘国强周崇喜张锦更多>>
相关机构:西安工业大学中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金:广东省中国科学院全面战略合作项目国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学机械工程更多>>

领域

  • 3个机械工程
  • 3个理学
  • 2个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 2个一般工业技术
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
  • 1个建筑科学
  • 1个水利工程
  • 1个交通运输工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个医药卫生
  • 1个文化科学

主题

  • 2个单层膜
  • 2个等离子体共振
  • 2个电路
  • 2个迭代
  • 2个严格耦合波理...
  • 2个掩模
  • 2个衍射
  • 2个衍射光学
  • 2个衍射光学元件
  • 1个带隙结构
  • 1个氮化
  • 1个氮化硅
  • 1个氮化硅薄膜
  • 1个氮化硅膜
  • 1个刀架
  • 1个导轨
  • 1个导引
  • 1个等差
  • 1个等离激元
  • 1个低能

机构

  • 3个中国科学院
  • 2个四川大学
  • 1个西安工业大学
  • 1个中国科学院研...

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 3个广东省中国科...
  • 2个国家重点实验...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个四川省自然科...
  • 1个四川省青年科...
  • 1个陕西省教育厅...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个陕西省教育厅...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国科学院重...
  • 1个西安工业大学...

传媒

  • 3个强激光与粒子...
  • 2个光学学报
  • 2个应用激光
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  • 2个光电工程
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  • 2个光学仪器
  • 2个第十一届全国...
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  • 1个激光与光电子...
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  • 1个光散射学报
  • 1个人工晶体学报
  • 1个液晶与显示
  • 1个应用光学

地区

  • 1个北京市
  • 1个陕西省
  • 1个四川省
3 条 记 录,以下是 1-3
刘国强
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:干涉光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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