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国家自然科学基金(69936020)

作品数：16 被引量：56H指数：4
相关作者：吉元李志国夏洋王晓冬刘丹敏更多>>
相关机构：北京工业大学中国科学院微电子研究所中国人民武装警察部队学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺一般工业技术理学更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 34个北京市
  • 1个宁夏
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共 36 条 记 录，以下是 1-10
吉元
供职机构：北京工业大学材料科学与工程学院
研究主题：电子背散射衍射 扫描电镜 EBSD 扫描电子显微镜 ESEM
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志国
供职机构：北京工业大学
研究主题：可靠性 半导体器件 欧姆接触 加速寿命试验 微电子器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王晓冬
供职机构：北京工业大学
研究主题：透射电子显微镜 原位表征 透射电镜 双轴 直线步进电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丹敏
供职机构：北京工业大学
研究主题：SUB 织构 高温超导 放电等离子 磁制冷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖卫强
供职机构：北京工业大学固体微结构与性能研究所
研究主题：晶体生长 晶体 晶体结构 硼酸盐 KTP晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张隐奇
供职机构：北京工业大学
研究主题：ESEM 扫描电镜 非导电材料 荷电效应 电子背散射衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱鹤
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI 刻蚀 自对准硅化物 淀积 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国海
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：ULSI 扩散阻挡层 集成电路 铜互连线 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘志民
供职机构：北京工业大学固体微结构与性能研究所
研究主题：铝互连线 互连线 热应力 VLSI 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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