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河北省自然科学基金(502029)

作品数:7 被引量:27H指数:3
相关作者:刘玉岭王新李薇薇檀柏梅邢哲更多>>
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领域

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主题

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  • 5个应力
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  • 4个电器件
  • 3个低K材料
  • 3个电化学氧化
  • 3个电路工艺

机构

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  • 1个河北工学院
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  • 1个中国电子科技...
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资助

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  • 8个河北省自然科...
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  • 5个国家中长期科...
  • 5个河北省教育厅...
  • 5个天津市重大科...
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传媒

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地区

  • 8个天津市
8 条 记 录,以下是 1-8
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王新
供职机构:河北工业大学
研究主题:锰锌铁氧体 纳米粉体 抛光液 MNZN铁氧体 SUB
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李薇薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢哲
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP ULSI 抛光液 钽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康志龙
供职机构:河北工业大学
研究主题:半导体激光器 垂直腔面发射激光器 金属有机化合物气相淀积 高功率 色度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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